LABORATUVAR PROFİLİ
Laboratuvar İsmi:	İTÜ-MEMS (Nano/Mikro Elektromekanik Sistemleri Laboratuvarı)
Adres:	İTÜ MEMS Laboratuvarı, Ayazağa Kampüsü 34469 Maslak - İSTANBUL
Telefon:	0 212 285 69 51
Laboratuvar Web Adresi:	http://www.mems.itu.edu.tr

 

Cihaz İsmi:	ICP-DRIE
Cihaz Modeli:
Cihaz Sorumlusu:	Prof. Dr. Levent TRABZON
Telefon:	0 212 285 69 51
E-Posta:	levent.trabzon@itu.edu.tr