LABORATUVAR PROFİLİ
Laboratuvar İsmi:	İTÜnano - Nanoteknoloji Araştırma Merkezi
Adres:	ITUnano Nanoteknoloji Araştırma Merkezi - Bilim ve Teknoloji Parkı - İstanbul Teknik Üniversitesi Ayazağa Kampüsü, 34469 Maslak – İSTANBUL
Telefon:	0 212 285 69 16
Laboratuvar Web Adresi:	http://www.nano.itu.edu.tr/

 

Cihaz İsmi:	DRIE - (F)
Cihaz Modeli:	Oxford Instruments - PlasmaPro 100 Cobra
Cihaz Sorumlusu:	Muhammed BEKİN
Telefon:	0 212 285 69 16
E-Posta:	bekin@itu.edu.tr